此款設(shè)備進(jìn)料端配置對(duì)面雙工位手套箱，手套箱內(nèi)配置軌道及操作平臺(tái)，方便載料管的運(yùn)輸和裝料。升華機(jī)出料端配置雙面四工位手套箱，手套箱內(nèi)設(shè)置有軌道及升降操作平臺(tái)方便取料、封裝及運(yùn)輸手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟龍起到防腐作用，半導(dǎo)體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異，對(duì)于材料進(jìn)行提純，參數(shù)準(zhǔn)確，工藝可靠穩(wěn)定，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，單次升華可大幅度降低有機(jī)材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度，將材料的純度提升一至三個(gè)數(shù)量級(jí)。整個(gè)操作過(guò)程材料與大氣隔絕，避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染，是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的最佳選擇。 技術(shù)參數(shù)： 設(shè)備總長(zhǎng)3800mm*1800mm*1850mm，爐體外殼采用鏡面 SUS304 不銹鋼。 石英外管尺寸：φ300X3000X5mm，高純石英材質(zhì)。 Max 加熱溫度：800℃；穩(wěn)溫精度：±1℃。 溫區(qū)：8個(gè)溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)上下個(gè)兩個(gè)控溫點(diǎn)，共16個(gè)溫控點(diǎn) 爐膛材質(zhì)：進(jìn)口氧化鋁陶瓷纖維 爐膛尺寸分布：150+700+200+320+320+320+200+150mm 加熱絲材質(zhì)：進(jìn)口Kanthal電阻絲 顯示屏：22寸PC 極限真空（空態(tài)、常溫）：5.0×10-5Pa 控制系統(tǒng)：全自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng) 左端單工位手套箱連接左端法蘭，長(zhǎng)度： 1220mm；深度：750mm；高度： 900mm 右端對(duì)面雙工位手套箱連接右端法蘭，長(zhǎng)度： 2440mm；深度：1000mm；高度： 900mm