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    卷對卷設(shè)備

    簡介

    該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備,此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,RF射頻電源模塊,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室,收放密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點(diǎn),可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯

    評論
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